Zasada działania
Strumień gazu wpływający do przetwornika przepływu masowego jest rozdzielany poprzez przetaczanie niewielkiej części przepływu przez kapilarną rurkę czujnika ze stali nierdzewnej. Pozostała część gazu przepływa przez główny kanał przepływu. Geometria głównego przewodu i rurki czujnika została zaprojektowana tak, aby zapewnić laminarny przepływ w każdej gałęzi. Zgodnie z zasadami dynamiki płynów, natężenia przepływu gazu w dwóch laminarnych przewodach przepływowych są do siebie proporcjonalne. Dlatego natężenia przepływu mierzone w rurce czujnika są wprost proporcjonalne do całkowitego przepływu przez przetwornik. Aby wykryć przepływ w rurce czujnika, strumień ciepła jest wprowadzany w dwóch sekcjach rurki czujnika za pomocą precyzyjnie nawiniętych cewek. Ciepło jest przenoszone przez cienką ściankę rurki czujnika do przepływającego wewnątrz gazu. Podczas przepływu gazu, ciepło jest przenoszone przez strumień gazu z cewki przed czujnikiem do uzwojenia cewki za czujnikiem.
Różnica rezystancji zależna od temperatury, wykrywana jest przez elektroniczny obwód sterujący. Zmierzony gradient temperatury na uzwojeniach czujnika jest liniowo proporcjonalny do chwilowej prędkości przepływu. Generowany jest sygnał wyjściowy, który to jest funkcją ilości ciepła przenoszonego przez gazy w celu wskazania masowego natężenia przepływu. Dodatkowo, przepływomierz masowy model XFM zawiera precyzyjny mikrokontroler analogowy (ARM7TDMI® MCU) i nieulotną pamięć, w której przechowuje wszystkie zmienne i do 10 różnych tabel kalibracyjnych.
- Dozowanie gazów do komór środowiskowych
- Pomiar gazów dostarczanych do palników - z funkcją sumowania przepływu
- Produkcja półprzewodników na etapie chemicznego osadzania z fazy gazowej, chłodzenia płytek itd.
- Precyzyjny pomiar gazu będącego prekursorem procesu osadzania cienkiej warstwy w komorze reakcyjnej
- Produkcja farmaceutyków - precyzyjny pomiar powietrza w tabletkarkach
- Pomiar ilości powietrza dostarczanego do bioreaktorów
- Przepływomierz masowy wykorzystuje prosty czujnik z elementem spiętrzającym przepływ, aby zapewnić wysoką dokładność pomiarową: ± 1% zakresu i powtarzalność ± 0,25% zakresu
- Przepływ gazów można wyświetlać w 23 różnych jednostkach inżynierskich na opcjonalnym wyświetlaczu LCD 2x16 znaków z wewnętrznymi współczynnikami konwersji dla maksymalnie 32 gazów
- Cyfrowe interfejsy RS-232 lub RS-485 umożliwiają łatwą komunikację i możliwość zwielokrotnienia linii do 256 przepływomierzy (tylko dla RS-485)
- Przyjazny dla użytkownika interfejs umożliwia zaprogramowanie wysokiego i niskiego stanu alarmowego natężenia przepływu gazu wraz z dwoma programowalnymi przekaźnikami elektromechanicznymi SPDT z opcją zatrzasku
- Przepływomierz przechowuje informacje kalibracyjne dla 10 różnych gazów, poprzez indywidualny współczynnik K specyficzny przez użytkownika
- Automatyczna kalibracja punktu zerowego przetwornika (poprzez interfejs cyfrowy lub lokalny przycisk)
- W cenie certyfikat kalibracji zgodny z NIST
Dane techniczne:
| Zakresy pomiarowe: | Zakresy pomiarowe: 0...0.5, 10, 50, 100, 200, 500, 1000l/min |
| Medium: | Czyste nieagresywne gazy zgodne z materiałami zwilżalnymi przepływomierza. |
| Materiały elementów zwilżalnych: | XFM-X-X-A: aluminium anodowane, mosiądz, stal 316 SS fluoroelastomer O-ringi; XFM-X-X-S: stal 316 SS, oraz o-ringi z fluoroelastomeru; Buna-N, EPR oraz PTFE O-rings w opcji. |
| Dokładność: | ±1% FS. |
| Powtarzalność: | ±0.25% FS. |
| Programowanie uśredniania przepływu | 100ms | 200ms | 1000ms |
| Stała czasowa: | 2s do zakresu ±2% aktualnego przepływu. |
| Sygnał wyjściowy: | Liniowy 0...5 VDC (3000Ω min oporność wejścia) oraz 4... 20 mA (500 Ω max. oporność wejścia). |
| Przekaźniki [2]: | 1 A @ 24 VDC programowane: alarm górny | alarm dolny | w zakresie | sumator | ręcznie wyzwalany |
| Max. wielkość cząstek: | 5μm |
| Limit temperaturowy: | 0...50°C. |
| Zasilanie: | 11...26VDC |
| Przyłącze procesowe: | 1/8" dla przepływu ≤10 L/min; 1/4" dla ≤50 L/min; 3/8" dla ≤100 L/min. |
| Wyświetlacz: | 2 x 16 znaków LCD (w opcji). |
| Limit ciśnieniowy: | 34.5 bar. |
| Szczelność: | 1 x 10-9 ml/s dla helu. |
Przykładowe gazy wraz z współczynnikiem korygującym, pozostałe dostępne gazy w instrukcji:
Powietrze: 1.0000 | Argon AR : 1.4573 | Acetylen C2H2: 0.5839 | Propan C3H8: 0.3500 | Butan C4H10: 0.2631 | Metan CH4: 0.7175 | Tlenek węgla CO: 1.000 | Dwutlenek węgla CO2: 0.7382 | Hel HE: 1.4540 | Fluorek wodoru HF: 0.9998 | Wodór H2: 1.0106 | Azot N2: 1.0000 | Amoniak NH3: 0.7310 | Tlen O2: 0.9926 | Dwutlenek siarki SO2: 0.6900
| Przykład | XFM | AIR | 037 | A | B | A | L | A | 2 | Seria XFM-AIR-010-A-B-A-L-A-2, Przepływomierz |
| Seria | XFM | XFM Przepływomierz masowy | ||||||||
| Współczynnik K |
AIR AR C2H2 C3H8 C4H10 CH4 CO CO2 HE HF H2 N2 NH3 O2 SO2 |
1.0000 Powietrze
1.4573 Argon 0.5839 Acetylen 0.3500 Propan 0.2631 Butan 0.7175 Metan 1.0000 Tlenek węgla 0.7382 Dwutlenek węgla 1.4540 Hel 0.9998 Fluorek wodoru 1.0106 Wodór 1.0000 Azot 0.7310 Amoniak 0.9926 Tlen 0.6900 Dwutlenek siarki |
||||||||
| Przepływ [N2] |
07 17 37 47 57 67 77 |
0...0.5l/min 0...10l/min 0...50l/min 0...100l/min 0...200l/min 0...500l/min 0...1000l/min |
||||||||
| Obudowa | A S |
Aluminium Stal kwasoodporna |
||||||||
| Uszczelki | B E T V |
Buna-N EPR PTFE / Kalrez Fluoroelastomer |
||||||||
| Przyłącze | A B D E G H |
1/4” XFM 07,17,37 1/8” XFM 07, 17 3/8” XFM 17, 37, 47, 57 1/2” XFM 67 3/4” XFM 77 6mm XFM 07, 17, 37 |
||||||||
| Wyświetlacz | L N |
Wyświetlacz LCD Brak wyświetlacza |
||||||||
| Zasilanie | 6 | 11...26VDC | ||||||||
| Sygnał wyjściowy |
A B |
0-5 VDC 4-20 mA |
||||||||
| Interfejs cyfrowy | 2 5 9 |
RS232 RS485 Profibus |
Film z opisem funkcji:
Do pobrania
 |
Karta katalogowa: Przepływomierz masowy XFM |
|
Instrukcja: Przepływomierz masowy XFM |
|
Katalog przepływomierzy masowych: Przepływomierze masowe - przegląd |
Mapowanie magazynów, komór, zgodnie 21CFR Part11