Przepływomierz masowy GFM2
- Dozowanie gazów do komór środowiskowych
- Pomiar gazów dostarczanych do palników - z funkcją sumowania przepływu
- Produkcja półprzewodników na etapie chemicznego osadzania z fazy gazowej, chłodzenia płytek itd.
- Precyzyjny pomiar gazu będącego prekursorem procesu osadzania cienkiej warstwy w komorze reakcyjnej
- Produkcja farmaceutyków - precyzyjny pomiar powietrza w tabletkarkach
- Pomiar ilości powietrza dostarczanego do bioreaktorów

- Przepływomierz masowy wykorzystuje prosty czujnik z elementem spiętrzającym przepływ, aby zapewnić wysoką dokładność pomiarową: ± 1% zakresu i powtarzalność ± 0,25% zakresu
- Przepływ gazów można wyświetlać w 23 różnych jednostkach inżynierskich na opcjonalnym wyświetlaczu LCD 2x16 znaków z wewnętrznymi współczynnikami konwersji dla maksymalnie 32 gazów
- Cyfrowe interfejsy RS-232 lub RS-485 umożliwiają łatwą komunikację i możliwość zwielokrotnienia linii do 256 przepływomierzy (tylko dla RS-485)
- Przyjazny dla użytkownika interfejs umożliwia zaprogramowanie wysokiego i niskiego stanu alarmowego natężenia przepływu gazu wraz z dwoma programowalnymi przekaźnikami elektromechanicznymi SPDT z opcją zatrzasku
- Przepływomierz przechowuje informacje kalibracyjne dla 10 różnych gazów, poprzez indywidualny współczynnik K specyficzny przez użytkownika
- Automatyczna kalibracja punktu zerowego przetwornika (poprzez interfejs cyfrowy lub lokalny przycisk)
- W cenie certyfikat kalibracji zgodny z NIST
Dane techniczne:
Zakresy pomiarowe: | Niski: 0...10l/min Średni: 0...50l/min Wysoki: 0...100l/min |
Medium: | Czyste nieagresywne gazy zgodne z materiałami zwilżalnymi przepływomierza. |
Materiały elementów zwilżalnych: | GFM2-X-X-A: aluminium anodowane, mosiądz, stal 316 SS fluoroelastomer O-ringi; GFM2-X-X-S: stal 316 SS, oraz o-ringi z fluoroelastomeru; Buna-N, EPR oraz PTFE O-rings w opcji. |
Dokładność: | ±1% FS. |
Powtarzalność: | ±0.25% FS. |
Programowanie uśredniania przepływu | 100ms | 200ms | 1000ms |
Stała czasowa: | 2s do zakresu ±2% aktualnego przepływu. |
Sygnał wyjściowy: | Liniowy 0...5 VDC (3000Ω min oporność wejścia) oraz 4... 20 mA (500 Ω max. oporność wejścia). |
Przekaźniki [2]: | 1 A @ 24 VDC programowane: alarm górny | alarm dolny | w zakresie | sumator | ręcznie wyzwalany |
Max. wielkość cząstek: | 5μm |
Limit temperaturowy: | 0...50°C. |
Zasilanie: | 11...26VDC |
Przyłącze procesowe: | 1/8" dla przepływu ≤10 L/min; 1/4" dla ≤50 L/min; 3/8" dla ≤100 L/min. |
Wyświetlacz: | 2 x 16 znaków LCD (w opcji). |
Limit ciśnieniowy: | 34.5 bar. |
Szczelność: | 1 x 10-9 ml/s dla helu. |
Przykładowe gazy wraz z współczynnikiem korygującym, pozostałe dostępne gazy w instrukcji:
Powietrze: 1.0000 | Argon AR : 1.4573 | Acetylen C2H2: 0.5839 | Propan C3H8: 0.3500 | Butan C4H10: 0.2631 | Metan CH4: 0.7175 | Tlenek węgla CO: 1.000 | Dwutlenek węgla CO2: 0.7382 | Hel HE: 1.4540 | Fluorek wodoru HF: 0.9998 | Wodór H2: 1.0106 | Azot N2: 1.0000 | Amoniak NH3: 0.7310 | Tlen O2: 0.9926 | Dwutlenek siarki SO2: 0.6900
Przykład | GFM2 | AIR | 010 | A | B | A | L | A | 2 | Seria GFM2-AIR-010-A-B-A-L-A-2, Przepływomierz |
Seria | GFM2 | GFM2 Przepływomierz masowy | ||||||||
Współczynnik K |
AIR AR C2H2 C3H8 C4H10 CH4 CO CO2 HE HF H2 N2 NH3 O2 SO2 |
1.0000 Powietrze
1.4573 Argon 0.5839 Acetylen 0.3500 Propan 0.2631 Butan 0.7175 Metan 1.0000 Tlenek węgla 0.7382 Dwutlenek węgla 1.4540 Hel 0.9998 Fluorek wodoru 1.0106 Wodór 1.0000 Azot 0.7310 Amoniak 0.9926 Tlen 0.6900 Dwutlenek siarki |
||||||||
Przepływ | 010 050 100 |
Niski przepływ | 0...10l/min Średni przepływ | 0...50l/min Wysoki przepływ | 0...100l/min |
||||||||
Obudowa | A S |
Aluminium Stal kwasoodporna |
||||||||
Uszczelki | B E T V |
Buna-N EPR PTFE Fluoroelastomer |
||||||||
Przyłącze | A B D |
1/4” (niski) 1/8” (średni) 3/8” (wysoki) |
||||||||
Wyświetlacz | L N |
Wyświetlacz LCD Brak wyświetlacza |
||||||||
Sygnał wyjściowy |
A B |
0-5 VDC 4-20 mA |
||||||||
Interfejs cyfrowy | 2 5 9 |
RS232 RS485 Profibus |
Do pobrania
![]() |
Karta katalogowa: pdf Przepływomierz masowy GFM2 (338 KB) |
![]() |
Instrukcja: pdf Przepływomierz masowy GFM2 (679 KB) |